




特種氣體的雜質(zhì)檢測和監(jiān)控
隨著電子特氣的純度越來越高,對分析檢測方法和儀器提出了更高的要求,檢測限從zui早的ppm級已經(jīng)發(fā)展到ppt級。目前國外電子氣體的分析己經(jīng)經(jīng)歷了離線分析、在線分析(on-line),原位分析(insitu)等幾個階段。對于高純度電子氣體的分析,國外已開發(fā)出系統(tǒng)完整的分析測試方法和現(xiàn)場分析儀器。而由于我國電子特氣行業(yè)一直重生產(chǎn)而輕檢測,因此分析方法和分析儀器同國外廠商相比都比較落后。

氦氣質(zhì)譜檢漏的用方法
氦質(zhì)譜檢漏-真空法,真空法首要應(yīng)用于真空密封功能要求,但不帶壓工作的產(chǎn)品,特種氣體多少錢,如空間活動部件、液氫槽車、環(huán)境模擬設(shè)備等。真空法檢測靈敏度高,能夠準確定位,特種氣體廠商,能完成大容器或雜亂結(jié)構(gòu)產(chǎn)品的檢漏。可是只能完成一個大氣壓差的漏率檢測,不能準確反映帶壓被檢產(chǎn)品的實在走漏狀況。
選用真空法檢漏時,需求使用輔佐真空泵或檢漏儀對被檢產(chǎn)品內(nèi)部密封室抽真空,選用氦罩或噴吹的辦法在被檢產(chǎn)品外外表施氦氣,當被檢產(chǎn)品外表有漏孔時,氦氣就會經(jīng)過漏孔進入被檢產(chǎn)品內(nèi)部,再進入氦質(zhì)譜檢漏儀,然后完成被檢產(chǎn)品走漏量丈量。依照施漏氣體辦法的不同,又能夠?qū)⒄婵辗ǚ譃檎婵諊姶捣ê驼婵蘸ふ址āF溟g真空噴吹法選用噴槍的方式向被檢產(chǎn)品外外表噴吹氦氣,安徽特種氣體,能夠完成漏孔的準確定位; 真空氦罩法選用有必定密閉功能的氦罩將被檢產(chǎn)品悉數(shù)罩起來,在罩內(nèi)充溢必定濃度的氦氣,能夠完成被檢產(chǎn)品總漏率的丈量。

特種氣體系統(tǒng):常規(guī)供氣系統(tǒng)
特種氣體采用普通鋼瓶(<50L)供氣。特氣輸送系統(tǒng)采用氣瓶柜。配置全自動PLC控制器,彩色觸摸屏;氣體面板采用氣動閥門和壓力傳感器,可實現(xiàn)自動切換,自動氮氣吹掃,自動真空輔助放空;多重安全防護措施,泄漏偵測,遠程緊急切斷;專用氮氣吹掃起源等等。VMB采用支路氣動閥,氮氣吹掃,工業(yè)特種氣體,真空輔助排空。惰性氣體多采用半自動氣瓶架,繼電器控制,自動切換,手動吹掃,手動放空;VMB主管氣動閥,氮氣吹掃;支路氣動閥,氮氣吹掃,真空輔助排空。氣體房和抽風系統(tǒng)根據(jù)氣體性質(zhì)進行分類。


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